Pooljuhtide valmistamise ja täppisoptika maailmas ei tähenda mõõtmine ainult täpsust,{0}}see on absoluutne stabiilsus, korratavus ja ühilduvus ekstreemsete keskkondadega. Traditsioonilised metallil või polümeeril{2}} põhinevad mõõturid jäävad sageli puhta ruumi tingimustes, kõrgsagedusmetroloogia tsüklite-või nanomeetri-skaala tolerantside korral alla.
Sisestage täppiskeraamilised metroloogia tööriistad,{0}}mis on valmistatud täiustatud tsirkooniumoksiidi (ZrO₂) ja alumiiniumoksiidi (Al₂O₃) komposiitmaterjalidest. Need komponendid on kiiresti muutumas kriitiliste kontrolliülesannete kullastandardiks vahvlite, optiliste läätsede tootmisliinide ja riiklike -tasemel uurimislaborites.
Siin on viis tehnilist eelist, mis muudavad täppiskeraamika tipptasemel tuvastusrakendustes mitte ainult eelistatavaks-, vaid sageli asendamatuks-.
1. Peaaegu -null soojuspaisumine – stabiilsus nanoskaalal
Miks see on oluline: 1-kraadine nihe võib tundlikes interferomeetrilistes seadistustes esile kutsuda näilise vea mikronite ulatuses.
Täppisstruktuurkeraamika soojuspaisumise koefitsient (CTE) on nii madal kui 0,5–1,0 × 10⁻⁶ / kraad -, mis on oluliselt madalam kui roostevaba teras (~16 × 10⁻⁶ / kraad) ja isegi Invari sulam (~1,2 × 10 / kraadi). See tagab mõõtmete terviklikkuse temperatuurikõikumiste korral, mis on levinud 24/7 fab-operatsioonide puhul.
Tulemus: keraamilised mõõteplokid ja võrdlussfäärid säilitavad kalibreerimise kuude jooksul ilma triivita, vähendades ümberkalibreerimise sagedust kuni 70%.
2. Erakordne kulumis- ja kriimustuskindlus – loodud suureks-tsükliliseks kasutamiseks
Miks see on oluline? Korduv kokkupuude automaatse sondeerimise ajal rikub pehmeid materjale, põhjustades mõõtmise kõrvalekaldeid.
Täppiskeraamika, mille Vickersi kõvadus on üle 1200 HV (karastatud terase puhul ~200 HV), on täppiskeraamika vastupidav hõõrdumisele ränivahvlite, safiirsubstraatide ja teemant{3}}otsaga sondide poolt. Pinna karedus jääb stabiilseks, kui Ra on 0,01 µm või sellega võrdne isegi pärast 100,{7}} kontaktitsüklit.
Kasutusnäide: meie EUV litograafia joondamisel kasutatavad ZrO₂ vahvliserva mõõturid ei näita mõõdetavat kulumist pärast 18-kuulist pidevat töötamist.
3. Täiuslik elektriisolatsioon – ESD või voolulekke oht puudub
Miks see on oluline? Pooljuhtide metroloogias võib isegi mikro{0}}amprite leke kahjustada tundlikke seadmeid või moonutada elektriliste testide tulemusi.
Ceramics are inherently non-conductive (volume resistivity >10¹⁴ Ω·cm), välistades järgmised riskid:
Elektrostaatiline laeng (ESD) käsitsemise ajal
Parasiitvoolud sondijaamades
Signaali häired elektronkiire-või AFM-süsteemides
See muudab need ideaalseks kasutamiseks fotomaskide, MEMS-andurite ja kvantarvutuste testseadmete läheduses.
4. Mitte-magnet- ja RF-läbipaistev – häireteta-tundlikes keskkondades
Miks see on oluline? Tööriistadest tulenevad magnetväljad võivad elektronkiire kõrvale kalduda või magnetilise andmekandja testimist moonutada.
Täppiskeraamika ei sisalda ferromagnetilisi elemente, tagades ühilduvuse:
SEM/TEM kujutise veerud
MRI{0}}ühilduv laborivarustus
Spintroonilise ja magnetilise mälu uurimis- ja arendustegevus
Lisaks võimaldab nende dielektriline olemus sujuvalt integreerida raadiosagedus- ja mikrolainetesti seadistustesse ilma signaali peegelduse või sumbumiseta.
5. Ultra-Puhas ja keemiliselt inertne – mõeldud ISO klassi 1–5 puhaste ruumide jaoks
Miks see on oluline? Gaaside väljutamine, osakeste eraldumine või keemiline reaktsioonivõime võib saastada vahvleid või optilisi katteid.
Meie täppiskeraamilised tööriistad on:
Non-porous (density >99,5%) → puudub niiskuse imendumine ega mikroobide kasvu
Vastupidav hapete, aluste ja lahustite suhtes (sh HF aur, SC1/SC2 puhastus)
Madal väljalaskevõime (ASTM E595: TML järgi<0.1%, CVCM <0.01%)
Ultraheli- või plasmapuhastuse ajal mitte{0}}valamine
Sertifitseeritud kasutamiseks ISO 14644-1. klassi 1 keskkondades – valdkonna rangeim puhta ruumi standard.
Päris-maailma rakendused erinevates tööstusharudes
Pooljuht: vahvli paksuse mõõturid, võre kinnitustihvtid, sondikaardi joondusrakised
Optika: interferomeetri võrdlusplaadid, läätsede tsentreerimismuhvid, asfääri metroloogia pesad
Uurimislaborid: krüogeensed mõõteseadmed, vaakumkambri positsioneerimise etapid, aatomkella komponendid
Miks "piisavalt hea" ei ole piisav?
Metallitööriistad võivad olla üldiseks töötlemiseks piisavad,-kuid valdkondades, kus üks nanomeeter määrab edu või ebaõnnestumise, muutub materjali valik missiooni-kriitiliseks. Täppiskeraamika kõrvaldab varjatud muutujad: puudub termiline roome, puudub magnethüsterees, puudub korrosioon, puudub ESD risk.
Unparalleled Groupis valmistame sertifitseeritud täppiskeraamilisi metroloogiatööriistu, et:
ISO 3650 (toote geomeetrilised spetsifikatsioonid)
SEMI F57 (pooljuhtide käsitsemismaterjalid)
MIL{0}}STD-883 (mikroelektroonika testimismeetodid)
Iga komponent läbib enne saatmist laserinterferomeetria, CMM-i valideerimise ja puhta ruumi pakendamise.