Kuidas välja töötada anti-staatika- ja sademete-vaba töötlemislahendusi graniidist tahvlite kontrollimisseadmete jaoks

Täiustatud vahvlikontrolli seadmed kehtestavad nanoskaala ranged standardid substraadi puhtusele ja staatilisele kontrollile. Ilma spetsiaalse töötluseta on tavalistel graniidist lauaplaatidel kaks peamist tööstuslikku probleemi: staatiline laeng akumuleerub hõõrdumise tõttu ja kohene tühjenemine purustab üliõhukesed väravastruktuurid, käivitades massilise vahvlite lammutamise; Kivis olevad lahustuvad metalliioonid leostuvad aja jooksul järk-järgult, saastades optilisi teid ja kiibiahelaid, põhjustades lühiseid ja tumedate laikude defekte. Enamik kivitarnijaid teostab ainult lihtsat poleerimist ilma integreeritud anti-staatilise ja madala-iooniga töötlemiseta, mis ei vasta ISO klassi 5/6 puhasruumi standarditele vahvlite kontrollimisel. UNPARALLELED® pooljuhtide puhasruumi-klassi graniidi etalontootjana kasutab UNPARALLELED® eksklusiivset madala-iooniga musta graniidi maaki, klassi 10 000 konstantse -temperatuuri puhtaid tootmisliine ja spetsiaalset pooljuhtide testimislaborit, et luua standardiseeritud {}{1}3}integreeritud antistaatika{1}. lahendus. Täielik-protsessijuhtimine, mis hõlmab toormaterjali sõelumist, täppistöötlust, pinna modifitseerimist, tihenduskatmist ja tehasekontrolli, vastab nii staatilisele hajumisele kui ka peaaegu-null-ioonide leostumise nõuetele, pakkudes AOI-masinatele, sondijaamadele ja optilisele kontrolliplatvormile ühilduvaid substraadilahendusi.
Esiotsa-sorteeritud tooraine sõelumine loob aluse ioonide sadestumise piiramiseks tekkekohas. Ettevõtte vahvli-klassi graniit saadakse esmaklassilistest homogeensetest maagisoontest. Lahustuvatele metallisooladele kalduvad mineraalid, nagu päevakivi ja vilgukivi, eemaldatakse kaevandamise käigus. Sissetulev maak läbib ioonide leostumise katsed, aktsepteeritakse ainult madala naatriumi-, kaaliumi-, raua- ja vase ioonide taseme jaoks kvalifitseeritud partiid. Selle loomulik veeimavus on kontrollitud alla 0,08% minimaalsete mikrokapillaaride pooridega. Erinevalt tavalisest-tööriistagraniidist läbib kõik vahvliseadmete kivi 7-päevase puhta vee leotamise{11}}eeltöötluse, et lahustada vabad lahustuvad ioonid seesmiselt enne kuivatamist ja töötlemist, kõrvaldades puhtas töökojas pikaajalise-ioonide saastumise. Toormaterjalid läbivad ka staatilise karakteristiku sõelumise, et lükata tagasi juhtivate lisandite rikkad partiid, mis võivad koguneda, vähendades raskusi järgneva antistaatilise modifikatsiooniga.
Segmenteeritud puhas täppistöötlemine tagab ülisiledad pinnad, mille tolmu- ja ioonijäägid on minimaalsed. Kõik protseduurid viiakse läbi suletud konstantse -temperatuuri ja niiskuse klassi 10 000 puhtas töökojas, et vältida väliste lisandite sattumist kivipooridesse. Metall-vabu teemant-abrasiive kasutatakse töötlemata lihvimiseks, peeneks lihvimiseks ja nanopoleerimiseks, et vältida võõraste raua ja alumiiniumi saastumist. Pooljuht{8}}puhtusastmega deioniseeritud vesi ilma soolade või pindaktiivsete aineteta toimib jahutusvedelikuna, et peatada ioonijääkide imbumine kristallivahedesse. Nanopoleerimine tagab pinna kareduse Ra Väiksem või võrdne 0,05 μm; ülisile{12}}pind vähendab triboelektri teket ja tolmu adhesiooni, minimeerides samal ajal niiskuse kinnipidamisest tingitud ioonide leostumist. Toorikute järel-töötlemine läbib kolmeastmelise ultrahelipuhastuse puhta veega, et eemaldada abrasiivide jäägid ja ioonide jäägid, millele järgneb kõrgel-temperatuuril tolmuvaba-kuivatamine ja suletud ladustamine, et vältida sekundaarset saastumist.
Kahe{0}}efektiga komposiitkatmisprotsess, mis on lahenduse tuum, tagab pikaajalise-staatilise hajumise ja ioonibarjääri. Loobudes üksikutest anti-staatilistest kattekihtidest, mis on kurikuulsad ioonide leostumise ja halva kulumiskindluse poolest, arendab PARALLELD oma-madala-iooniga staatilist elektrit hajutava tihendussüsteemi, mis on kantud kahes kõvenenud kihis: alumine ioonbarjääri hermeetik täidab täielikult mikrokristallidevahelised tühimikud, moodustades tiheda metallist väljavoolu kile; nano-süsiniktoru ülemine staatilist hajutav kate ei sisalda metallist juhtivaid täiteaineid, et vältida täiendavat ioonireostust, säilitades stabiilse pinnatakistuse 10⁷~10⁸Ω kooskõlas puhta ruumi ESD standarditega, et vabastada staatiline staatilisus õrnalt ilma kõrge-pingega hetkelahenduseta. Vähegaasi tekitav silikoonist{11}}vaba kate peab vastu korduvale puhta ruumi lapiga pühkimisele ja happe{12}}leeliseliste puhastusvahenditega, mis on vastupidav kriidile ja koorumisele, et vältida osakeste saastumist vahvlitele. Kate kõveneb segmenteeritud tsüklitena puhtas konstantse{14}}temperatuuriga kambris, et vabastada sisemine pinge ja vältida pragunemist.
Standardsed integreeritud maandusstruktuurid optimeerivad staatilise lahenduse riistvara, et välistada lokaalne laengu kogunemine. Kohandatud juhtivad maandusalused on mõeldud vahvlite kontrolliplatvormide jaoks, mille sisseehitatud ioonivabad-juhtivad kontaktid on sujuvalt kattega ühendatud, et tagada ühtlane takistus kogu lauaplaadi ulatuses ilma staatiliste pimetsoonideta. Isoleeritud niiskuskindlad-toed allosas blokeerivad ioonide leostumise edasiseks pärssimiseks hulkuvad maapinna laengud ja maa-aluse niiskuse läbitungimise. Kõik maanduskomponendid kasutavad passiveeritud roostevaba terast, mis ei sisalda tsingitud või vask{5}}osi, et välistada metalliioonide sadenemise oht.
Põhjalik kahe{0}}jõudlusega väljuv kontroll koos täieliku jälgitavusega vastab rangetele pooljuhtide tarnija auditistandarditele. Iga valmis vahvli-klassi graniidist laud läbib kaks spetsiaalset testi:
Anti-staatiline test: mitmepunktiline pinnatakistuse mõõtmine tagab stabiilse takistuse standardvahemikus ilma drastiliste kõikumisteta kõrge ja madala õhuniiskuse korral;
Ioonide leostumise test: metalliioonide kontsentratsiooni mõõdetakse pärast 24-tunnist puhtasse vette sukeldamist, kusjuures kõik kahjulikud ioonid on palju allpool tööstusharu piire.
Täielikud metroloogilised testid, mis hõlmavad tasasust, karedust, osakeste teket ja veeimavust, viiakse läbi samaaegselt. Kõik mõõteriistad on jälgitavad provintsi metroloogiainstituutidele ja kõik katseandmed on püsivalt salvestatud iga tooriku unikaalse jälgitavuskoodi alla. Kolmandate osapoolte CMA-testiaruanded on{2}} saadaval klientide eriprotsessitaotluste alusel.
Kahe 200 000 ㎡ intelligentse tootmisbaasi, ISO kolmekordse sertifikaadi, CE-sertifikaadi ja mitmete puhaste ruumide kivitöötluse patentide toel tarnitakse PARELLEID anti-madala-iooniga graniidist lauaplaate massiliselt juhtivatele pooljuhtfirmadele, sealhulgas Samsungile, Apple'ile, Singapuri STI-le ja Akribis{4}. staatilised -tundlikud tootmisliinid vahvlite kontrollimiseks, sondi testimiseks ja perovskiidi optiliseks tuvastamiseks. Kliendi kontrollimine näitab, et staatilised rikete defektid vähenevad 92% ja ioonreostusest põhjustatud vahvlijäägid on peaaegu elimineeritud, vähendades oluliselt tootmise lammutamist ja seadmete puhastamise sagedust. Ettevõte teeb pidevalt koostööd ülikoolide pooljuhtmaterjalide laboritega, et täiustada kattevalemeid, optimeerida madala-iooniga maagi sõelumiskriteeriume ja täiustada kahe{10}}kaitsega töötlemistehnoloogiat.
Pidades kinni kvaliteedipoliitikast „Täppisettevõte ei saa olla liiga nõudlik”, täidab UNPARALLELEDi standardiseeritud anti-staatilise ja ioon-blokeeriva töötlemise lahendus valdkonna lüngad substraadi kontrollimisel ja tegeleb kahe vahvlikontrolliseadmete peamise ohuga: saastumise ja staatilise kahjustusega. Edaspidi laiendab ettevõte üli-puhta graniidist eritoodete sarja, avaldab täielikud pooljuhtsubstraadi töötlemise spetsifikatsioonid, aitab ülemaailmsetel kiibitootjatel stabiliseerida saagikust ja vähendada puhaste ruumide töökulusid ning soodustab-täiustatud-sõlmepooljuhtide tööstuste kvaliteetset arengut.