Õhku kandvad graniidist alused pakuvad hõõrdumatut ja ülistabiilset tuge-täpsetele liikumissüsteemidele, parandades asukoha täpsust, korratavust ja vibratsiooni summutamist. UNPARALLELED® õhku kandvad graniidist alused on loodud toetama pooljuht-, optilisi ja automaatikaseadmeid, mis nõuavad nanomeetri-taseme liikumisjuhtimist ja äärmist süsteemi stabiilsust.
Mis on õhku kandev graniidist alus?
Anõhku kandev graniidist alusühendab täppisgraniidi stabiilsuse õhklaagritehnoloogiaga, mis riputab liikuvad komponendid õhukesele surveõhukihile. See välistab mehaanilise kontakti, vähendades hõõrdumist, kulumist ja vibratsiooni, võimaldades samas kiiret ja suure täpsusega{1}}liikumist.
Miks on hõõrdumiseta liikumine oluline?
Hõõrdumine põhjustab liikumissüsteemides mittelineaarseid vigu, kulumist ja kuumust. Graniitalusel õhklaagrite kasutamisel:
Liikumine on sujuv ja korratav
Kulumine on elimineeritud
Süsteemi jõudlus säilib aja jooksul
UNPARALLELED® õhklaagrite alused maksimeerivad liikumise täpsust ülitäpsete rakenduste jaoks.
Kuidas graniit stabiilsust toetab?
Graniit tagab mõõtmete stabiilsuse, vibratsiooni summutamise ja jäikuse. Õhklaagritega sidumisel:
Termiline triiv on viidud miinimumini
Vibratsioon neeldub loomulikult
Kõrge sagedusega{0}}liikumise vead vähenevad
See kombinatsioon tagab nanomeetri{0}}taseme positsioneerimise täpsuse CMM-ides, optilistes astmetes ja pooljuhtide kontrollisüsteemides.
Õhklaager vs traditsioonilised laagrialused
| Funktsioon | Õhku kandev graniidist alus | Kuul-/liugurlaagri alus | Malmist alus |
|---|---|---|---|
| Hõõrdumine | Nulli lähedal | Mõõdukas | Mõõdukas |
| Kanda | Minimaalne | Mõõdukas | Kõrge |
| Vibratsiooni summutamine | Suurepärane | Õiglane | Mõõdukas |
| Termiline stabiilsus | Suurepärane | Mõõdukas | Mõõdukas |
| Korratavus | Nanomeetri-tase | Mikroni-tase | Mikroni-tase |
| Hooldus | Madal | Mõõdukas | Kõrge |
| Kasutusiga | 20+ aastat | 5-10 aastat | 10-15 aastat |
Millistest rakendustest on kõige rohkem kasu?
Pooljuhtplaatide kontroll
Litograafia etapid
Optiline interferomeetria
Ultra{0}}täpne automatiseerimine
CMM-i kõrge{0}}täpsusmõõtmine
KKK
Mis on õhku kandev graniidist alus?
See on graniidist platvorm koos õhklaagritega, mis võimaldavad hõõrdumiseta ja suure täpsusega{0}}liikumist.
Miks kombineerida graniiti õhklaagritega?
Graniit tagab jäikuse ja stabiilsuse, samas kui õhklaagrid välistavad hõõrdumise ja kulumise.
Kas need alused suudavad saavutada nanomeetri{0}}taseme korratavuse?
Jah, korralikult konstrueeritud UNPARALLELED® alused toetavad nanomeetri{0}}taseme liikumist.
Kas õhku kandvad graniidist alused sobivad kiireks{0}}liikumiseks?
Jah, õhklaagrid võimaldavad sujuvat ja kiiret{0}}liikumist minimaalse veaga.
Kas need vajavad hooldust?
Vaja on minimaalset hooldust, eelkõige õhuvarustuse ja puhtuse tagamiseks.
Millistes tööstusharudes kasutatakse õhku kandvaid graniidist aluseid?
Pooljuhid, optika, täppisautomaatika, metroloogia ja ülitäppis{0}}tootmine.






