Täppisõhu{0}}ujuvad platvormid saavutavad hõõrdumiseta liikumise kontaktivabade õhukilede kaudu ja neid kasutatakse laialdaselt tipptasemel valdkondades, nagu optiline kontroll, pooljuhtplaatide töötlemine, ülitäpne{2}litograafia ja mikroni{3}}tasandi mõõtmete kalibreerimine. Õhusujuvate süsteemide-liikumise sirguse, tasasuse ja korduva positsioneerimise täpsuse pikaajaline stabiilsus- ei sõltu mitte ainult liikuvatest komponentidest, nagu õhklaagrid ja ajamimoodulid, vaid põhimõtteliselt ka platvormi aluspinna füüsikalistest omadustest. Paljud seadmete tootjad püüavad ehitada malmist, alumiiniumisulamist või mineraalsetest valanditest õhku{8}}ujuvaid aluseid, kuid puutuvad sageli kokku termilise deformatsiooni, vibratsiooniresonantsi ja pikaajalise-viidetriiviga. Sel põhjusel on suure-tihedusega graniidist saanud tipptasemel-täppisõhk{13}}ujuvplatvormide eelistatud aluspind.
Ultra-täpsete õhku-ujuvate liikumissüsteemide puhul on aluspind palju enamat kui lihtne kandekonstruktsioon-; see on põhiline etalon mikroni- ja nanomeetri-taseme täpsuse säilitamisel. Mikroni{5}}taseme ühtlaste õhukiledega töötades seavad õhk-ujuvad platvormid äärmiselt ranged nõuded substraadi deformatsiooni kontrollile, vibratsioonikindlusele ja konstruktsiooni stabiilsusele. Materjali kerge deformatsioon, mikro-vibratsioon või võrdlushälve rikuvad otseselt õhukile tasakaalu, põhjustades positsioneerimisvigu, töövärinat ja ebaõnnestunud kordustäpsus. Metallist ja tavalised kivist aluspinnad ei vasta kõrgekvaliteediliste õhkujuvate seadmete rangetele töötingimustele. Seevastu spetsiaalselt valitud ja töödeldud kõrge{13}}tihedusega graniit vastab ideaalselt ülitäpsete töönõuetele ja sellest on saanud tipptasemel{15}}tööstusseadmete oluline põhimaterjal.
Pideva töötamise ajal kandub mootorite ning ümbritseva õhu temperatuuri ja niiskuse kõikumiste tekitatud soojus platvormi aluspinnale. Alumiiniumisulamil ja malmil on kõrge soojuspaisumiskoefitsient ja need deformeeruvad peenelt väikeste temperatuurimuutuste korral, rikkudes õhukile ühtlust ning põhjustades liikumise värinat ja langevat positsioneerimistäpsust. Meie enda väljatöötatud UNPARALLELED® suure-tihedusega must graniidil on kompaktne ja ühtlane sisemine kristallstruktuur, millel on äärmiselt madal soojuspaisumistegur, mis minimeerib termilise-deformatsiooni. Selle suurepärane sisemine summutusvõime neelab kiiresti seadme tööst ja väliskeskkonnast tuleneva vibratsiooni, vältides tõhusalt resonantshäireid.
Mõned tarnijad kasutavad õhkujuvate platvormide{0}}toormaterjalina tavalist marmorit. Lahtise tekstuuri ja looduslike lõhedega tavaline marmor vabastab järk-järgult sisemise pinge pikaajalise -surve ja tsüklilise koormuse korral, mille tulemuseks on platvormi tasasuse halvenemine ja õhus{3}}ujuvad tühimikud aja jooksul. Kõik meie õhkujuvate{5}}platvormide jaoks kasutatavad graniitmaterjalid läbivad pikaajalise loomuliku ja kunstliku vananemistöötluse, et täielikult vabastada sisemine pinge. Stabiilne tihedus ja vastupidavus roomedeformatsioonile säilitab püsivalt platvormi algse geomeetrilise täpsuse ning vähendab oluliselt hilisemat kalibreerimis- ja hooldussagedust.
Õhk-ujuva platvormi töötlemine nõuab kõrgelt spetsialiseeritud viimistletud oskust, ülimalt-tasasust ning peente õhuavade, õhuvarustusahelate, montaaži keermestatud aukude ja tihendussoonte täpset töötlemist. Pehme tavaline kivi on puurimisel ja soonte tegemisel altid servade lõhenemisele ja pragunemisele. Suure-tihedusega graniit tagab tasakaalustatud kõvaduse, struktuuri jäikuse ja töödeldavuse, võimaldades keerukate ja ebakorrapäraste struktuuride stabiilset viimistlemist. Toetatakse 200 000 ㎡ tootmisbaasi ja 10 000 klassi konstantse-temperatuuri, konstantse{11}}niiskuse ja tolmuvaba{12}}töökoda koos professionaalse vibratsioonivastase-infrastruktuuriga. Lõpetame suuremahuliste-lihvimisplatvormide integreeritud lihvimise ilma plekkimisplatvormi{15}}vigadeta. Kõik protseduurid vastavad globaalsetele standarditele, sealhulgas DIN, ASME ja GB, saavutades nanomeetri{17}}tasasuse, et täita kõrgetasemeliste{18}}õhu{19}}ujuvsüsteemide ranged õhuvahe ühtsuse nõuded.
Täpne kontroll on enne tarnimist hädavajalik. Saksamaalt, Šveitsist ja Jaapanist täielikult imporditud{1}}täpsete mõõtevahenditega varustatud kalibreerimisseadmetel on metroloogiainstituutide väljastatud kehtivad sertifikaadid koos täielikult jälgitavate katseandmetega. Iga valmis graniidist õhkujuv-ujuvplatvorm läbib põhjaliku tasasuse, sirguse ja paralleelsuse kontrolli. Toetame ka pikaajalisi-stabiilsuse vananemiskatseid konstantse temperatuuri tingimustes, et hinnata täppisjõudlust pikaajalisel-teenusel.
Toetudes ISO 9001, ISO 14001, ISO 45001 ja CE sertifikaatidele ning enam kui 20 ELis, USA-s ja Kagu-Aasias registreeritud rahvusvahelisele kaubamärgile ja patendile, teeme pikaajalist -tehnilist koostööd optikauuringute instituutide, pooljuhtide ettevõtete ja välismaiste tippülikoolidega. Meie kohandatud graniidist õhku{6}}ujuvaid platvorme tarnitakse laialdaselt Euroopasse, Ameerikasse ja Kagu-Aasiasse eksporditavate automaatsete kontrolliseadmete, vahvlitöötlussüsteemide ja laserkalibreerimisseadmete tootjatele. Pakume mitte-standardseid kohandatud lahendusi integreeritud õhk-ujuvatele laudadele, liikumisalustele ja pukktaladele, sealhulgas sisseehitatud keermega varrukad, sooned, puurimine ja ühest tükist ülitäpne viimistlus vastavalt kliendi 3D-joonistele.